闭管扩散要用石英管，这是由于石英管能耐1250℃左右的高温，而且在1800℃以上时会变得很柔软且很粘，能做成所需要的形状。另一方面，由于石英管采用的原料是特级水晶石，纯度高，含有害的杂质很少，对于扩散、配制合金等能保证质量，因此闭管扩散常采用石英管。
石英管的制备：根据扩散硅片直径的不同，来选择石英管的内径、壁厚等参数